旋片真空泵的真空度不達標，可由外漏，內漏，油孔梗塞，泵油質量不良或凈化蛻變，有水汽等可凝性物質，儀器儀表失真，泵運轉不正常等引起。
外漏較多時，排氣口可看到白色蒸汽，我們常稱為冒煙。油標處有較多氣泡，手在排氣口上可感到排氣壓力，低級排氣閥處油面有較多氣泡，功率會有所添加，這時，首先應檢查氣鎮(zhèn)閥是否已關好。由于新泵出廠每臺都在泵口測極限壓力，所以如有外漏景象，應對泵口及管道，閥門，容器逐一檢查。外軸封無效，雙級旋片真空泵，油標無油，油孔悶頭漏氣也可形成外漏。
小型真空泵指的就是微型真空泵，因為體積小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵（即小型真空泵)是指：具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，XD旋片真空泵，并且在進口處能夠持續(xù)形成真空或負壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質主要為氣體，無油旋片真空泵，體積小巧的一種儀器。
旋片式真空泵：轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近，河源旋片真空泵，在轉子槽內裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。
水環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內，當它旋轉時，把液體（通常為水或油）拋向泵殼內形成泵殼同心的環(huán)液，環(huán)液同轉子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積，故亦稱旋轉變容真空泵。
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